减薄研磨机

型号:VTS 3

设备特点:
-运用旋转工作台全自动,高精密,纵向切入式研磨
-全封闭打磨区(滑动门)
-内置的测厚仪 (可选)
-自动进给方式
-PLC自动控制系统
-旋转工作台(磁力或真空)

应用
适用于金属和其它材料的粗磨和精磨,能达到最高的平整度 (> 1 micron)。

应用优化
使用全自动切入式进给方式实现了规模化生产中的经济使用,同时还满足高精度的要求。可以对多种脆硬材料,比如硅, 碳化硅,蓝宝石,石英,锗,砷化钾等进行超薄研磨 (2 - 12 英寸)。

以2英寸的切片为例,减薄研磨以后,硅片的最终厚度为 25µm,蓝宝石片的最终厚度为60 µm。

技术参数:

主轴功率 2.2 kW
主轴转速 2,560 min-1
电源 3.2 kVA
精度 3 µm
双磨轮尺寸 200/175 mm
旋转工作台 300 mm
旋转工作台速度 0-30 min-1
精密进给 1 µm
范围 12 mm
冷却方式 DI-water
设备重量 780 kg
设备尺寸 1400 x 950 mm
p9230040

ChinaGermanEnglish

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