Charakteristik

Vollautomatisierte Präzisionsflachschleifmaschine
mit Rundtisch

- Vollständig geschlossener Arbeitsbereich
- Automatisierte Feinzustellung
- Rundtisch Vakuum oder Magnet
- Meßsteuerung optional

Einsatzgebiet

Vor- und Fertigschleifen von Metallen und anderen Werkstoffen mit hohen Anforderungen an die Plangenauigkeit (> 1 µm)

Einsatzoptimum

Durch die automatische Feinzustellung rationeller Einsatz in der Serienfertigung, wenn hohe Genauigkeitsanforderungen gestellt werden. Ultradünnschleifen von SI, SiC, Saphir, Quarz, Ge, GaAs und anderen Keramiken (2 - 12 Zoll)

Beispiel für 2 Zoll Wafer:
Enddicke für Si 25 µm
Enddicke für Saphir 60 µm

Technische Daten

Spindelmotor 2,2 kW
Spindeldrehzahl 2560 min-1
Elektroanschluss 3,2 kVA
Präzision 3 µm
Twinscheiben 200/175 mm
Rundtisch 300 mm
Rundtischdrehzahl 0-30 min-1
Feinzustellung 1 µm
Zustellbereich 12 mm
Kühlmedium DI-Wasser
Gewicht 780 kg
Layout 1400x950 mm

 

p9230040

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